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洁净室各状态下洁净度检测-空态IQ、静态OQ、动态
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洁净车间各状态下洁净度检测-空态IQ、静态OQ、动态PQ
洁净度等级检测-空态IQ、静态数据OQ、动态PQ。
CleanRoom-IQ.OQ.PQ。
专业术语：
GB50073-2001在净化车间设计标准中对洁净室进行了以下界定：
空态as-built。
设备已经完工，所有驱动力都接入并运行，但没有制造武器装备、材料和员工。
静态数据at-rest。
设备已经完工，制造武器设备已经安装，并按照社区业主和加工技术人员的同意运行，但没有制造人员。
动态operational。
设备已经划分的情况下运行，有划分的员工到场，并在讨论的情况下举行事务。
在ISO14644中，将洁净室检测环节划分如下：
空态洁净室检测-Installationqualificafion(IQ)
静态数据洁净室检测-Operationalqualificafion(OQ)
动态洁净室检测-Performancequalificafion(PQ)
空态洁净室检测(IQ)
检查空态洁净室和安装的武器装备是否符合设计方案，至少检查以下几点：
1.洁净室武器装备成套设备；
2.所有电力能源介质和工艺物质的供应(水、电、蒸汽、空气压缩、蒸汽等)是否符合设计方案;
3.公共和防具的作用是否准确；
4.因此，自动控制系统、监控、报警、报警等的计量检定日期；
5.安装质量；
6.安装过滤装置（最终过滤装置）的一致性；
7.开关电源及设备是否有备份数据，包括气体处理武器装备的排气容量；
8.压差；
9.气旋特性(单侧气旋-流速、均值性和气旋偏重)；
10.维护结构的密封性；
11.检查循环系统气体与室外气体的比例是否符合设计方案；
12.外部洁净度等级；
13.包装中是否有配件。
检查HEPA(ULPA)过滤装置的一致性具有关键和现实意义，特别是ISO6级、ISO5级和其他更高级的洁净室。检查外部清洁度等级和维护结构的密封性（ISO1~ISO5级洁净室的新颖关键）。
静态数据洁净室检测(OQ)
本环节的检测应至少进行以下事项：
1.确定洁净区划标准是否符合规定；
2.明确环境污染水平上升后洁净室臭氧消毒时间的主要参数；
3.保持环境温度和空气湿度的牢固性；
4.根据物体数量确定洁净度等级；
5.明确压差；
6.外部清洁度等级应根据颗粒和微生物菌种的环境污染水平确定；
7.明确光照强度；
8.明确噪声等级；
9.履行必要的专用工具，检查气旋和换风次数(必要时)；
10.将获取数据信息的实际效果写出书面。
动态无尘室检测(PQ)
为更好地评价动态洁净室的牢固性：
1.认证洁净室支解规章制度；
2.评估将温度和空气湿度保持在划分限制内的工作能力；
3.根据物体数检查洁净度等级，明确空气中的细菌浓度值(必要时)；
4.认证压力差；
5.根据物体数量和微生物菌种数量确定外界洁净度等级(必要时)；
6.检查洁净室操作文件的成套设备，包括主要参数的检查方法、洁净室事故的安全事故和接受的具体措施，是否有基本的技术规范，如洁净室清洁、换衣、员工环境卫生等领域的技术规范；
7.检查员工是否接受过学习培训，是否有培训管理系统和回应文件；
必要时还需要检查振动水平、气体水解水平、电磁感应强度。检测的具体内容可根据洁净室的特点进行更改。
在应用过程中，解决洁净室的主要参数与通常的监督相同，监控应有一定的规律性，洁净室客户可以根据标准文件的规定明确这些规则。
检测可在洁净室过程中进行（反复检测）；
以下各类产生后需要进行反复检测：
1.清除洁净室达不到给出主要参数的原因；
2.与洁净室等应用标准的应用有很大的不同(如改变生产工艺等)；
3.气体长期停止商品流通(送风)，危害洁净室事务；
4.进行危害洁净室的个人维护或维护，如更换HEPA过滤装置后。
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